เตาเผาสุญญากาศพลาสมา
Plasma Vacuum Furnance
ระบบเตาสุญญากาศพลาสมาสำหรับการแปรสภาพและเพิ่มคุณสมบัติของวัสดุด้วย Cold Plasma ภายใต้สภาวะสุญญากาศที่ควบคุมได้
การทำงานของเตาเผาสุญญากาศพลาสมา
Controlled Plasma Processing
กระบวนการทำงานของ Plasma Vacuum Furnace แบ่งออกเป็น 4 ขั้นตอนหลัก
นำวัสดุเข้าและเตรียมกระบวนการ
นำวัสดุเข้าสู่ Vacuum Chamber และกำหนดเงื่อนไขเริ่มต้น เช่น อุณหภูมิ ความดัน และระยะเวลาในการบำบัด
สร้างสภาวะสุญญากาศ
ระบบลดความดันภายในห้อง เพื่อสร้างสภาวะแวดล้อมที่เหมาะสมสำหรับการจุดและควบคุมพลาสมาอย่างมีเสถียรภาพ
สร้างและควบคุมพลาสมา
จ่ายก๊าซกระบวนการเข้าสู่ห้อง และสร้างพลาสมาด้วยระบบ Controlled Plasma Discharge สามารถเลือกก๊าซให้เหมาะกับวัตถุประสงค์ เช่น
Ar — Argon Plasma สำหรับการกระตุ้นและปรับสภาพพื้นผิว
O₂ — Oxygen Plasma สำหรับการปรับสภาพทางเคมีและเพิ่มหมู่ฟังก์ชันบนพื้นผิว
N₂ — Nitrogen Plasma สำหรับกระบวนการที่เกี่ยวข้องกับไนโตรเจนและการปรับคุณสมบัติของวัสดุ
Mixed Gas สำหรับการออกแบบสภาวะพลาสมาเฉพาะกระบวนการ
บำบัดและเพิ่มคุณสมบัติของวัสดุ
พลาสมาทำปฏิกิริยากับวัสดุภายใต้สภาวะที่ควบคุมได้ เพื่อ ปรับเปลี่ยนและเพิ่มคุณสมบัติของวัสดุ ตามเป้าหมายของกระบวนการ
Specifications
ออกแบบเพื่อการควบคุมที่แม่นยำ
Process Control
ควบคุม อุณหภูมิ ความดัน ก๊าซ พลังงานพลาสมา และเวลา เพื่อให้ได้กระบวนการที่ทำซ้ำได้
Vacuum Performance
ห้องสุญญากาศและระบบปั๊มถูกออกแบบสำหรับการสร้างสภาวะความดันต่ำที่เหมาะสมกับกระบวนการพลาสมา
Configurable Gas System
รองรับการเลือกใช้ก๊าซกระบวนการ เช่น Ar, O₂ และ N₂ รวมถึงการออกแบบระบบก๊าซให้เหมาะกับงานเฉพาะ
Programmable Treatment
กำหนดลำดับขั้นตอนและพารามิเตอร์ของกระบวนการเป็น Recipe ได้
Plasma Discharge
ใช้ระบบ Controlled Streamer Discharge เพื่อสร้างพลาสมาภายในห้องสุญญากาศ
System Integration
สามารถออกแบบขนาด Chamber ระบบควบคุม ระบบก๊าซ ระบบสุญญากาศ และระบบ Automation ให้เหมาะกับกระบวนการของลูกค้า
ตัวเลือกการออกแบบระบบ
ออกแบบระบบตามความต้องการใช้งานของคุณ เรากำหนดระบบ Plasma Vacuum Furnace ให้เหมาะกับ ชนิดวัสดุ คุณสมบัติที่ต้องการปรับปรุง ขนาดชิ้นงาน ปริมาณการผลิต และเงื่อนไขของกระบวนการ
ออกแบบระบบ
กำหนดขนาด Vacuum Chamber ตามการใช้งาน
เลือกระบบและชนิดก๊าซ Ar / O₂ / N₂ / Mixed Gas
กำหนดกำลังและรูปแบบ Streamer Plasma Discharge
ควบคุม Vacuum Pressure / Temperature / Gas Flow / Treatment Time
ออกแบบระบบควบคุมและ Automation ตามระดับการใช้งาน
พัฒนา Plasma Recipe ให้เหมาะกับวัสดุและเป้าหมาย
